半導體
超潔淨、低振動的自動化解決方案，適用於前段、後段與測試機台，具備亞微米定位能力。
半導體設備要求卓越的重複精度、低振動與極少的微粒產生。Upage支援晶圓傳送、晶粒貼裝與測試機台子系統，提供線性馬達、氣浮平台與無塵室等級線纜。
Industry Challenges
振動敏感度
奈米級製程需要隔離與平穩的運動曲線。
污染控制
材料與潤滑劑必須符合半導體潔淨度標準。
熱漂移
精密平台需要補償晶圓廠環境中的溫度變化。
長使用壽命
設備運轉超過10年——元件停產規劃至關重要。
Frequently Asked Questions
搭配線性編碼器回饋，特定平台配置可實現±1 µm重複精度。需進行應用驗證。